Thiết kế, chế tạo và kiểm tra các đặc tính điện của Transistor hiệu ứng trường (FET) sử dụng ống nano Carbon

Abstract

Tổng quan: Giới thiệu tổng quan về cấu trúc, các tính chất đặc trưng, các ứng dụng thực tế của ống nano carbon; Giới thiệu sơ lược về transistor hiệu ứng trường (MOSFET); Giới thiệu về transistor hiệu ứng trường ứng dụng ống nano carbon (CNTFET). Thiết bị và phương pháp nghiên cứu: Giới thiệu vật liệu và thiết bị sử dụng trong quá trình chế tạo và khảo sát CNTFET; Trình bày các phương pháp nghiên cứu chế tạo CNTFET. Chế tạo CNTFET: Trình bày chi tiết các bước chế tạo CNTFET. Đo đạc: Khảo sát, đánh giá qui trình chế tạo CNTFET; Kiểm tra đặc tính điện của sản phẩm CNTFET tạo thành.