Cảm biến vận tốc góc Drapper: Công nghệ chế tạo và giao diện điện tử

Abstract

Con quay vi cơ đã được ứng dụng nhiều, song việc nghiên cứu để hoàn thiện công nghệ và nâng cao chất lượng của nó vẫn đang được rất nhiều cơ sở trên thế giới quan tâm. Bài báo này đề cập đến một số kết quả chế tạo bộ cảm biến vận tốc góc cấu trúc kiểu Drapper. Phương pháp đo diện dung vi sai và xử lý tín hiệu bằng công nghệ vi điều khiển được sử dụng để đánh giá các thông số cùa bộ cảm biến.