Đề tài nghiên cứu về thiết kế và xây dựng hệ phun bằng phương pháp phun tĩnh điện cao áp để chế tạo các vận liệu bán dẫn, điện môi; lắp ráp bộ khống chế nhiệt độ; chế tạo màng ZnO, ZnO; Er, ZnO; In; Nghiên cứu một số vấn đề của vật liệu chế tạo: Chế độ tạo màng; Cấu trúc tinh thể của màng ZnO; Tính chất quang của màng ZnO
