Vật liệu bán dẫn Chất bán dẫn Phương pháp chế tạo màng ZnO
Issue Date:
2002
Publisher:
H. : ĐHKHTN
Citation:
24 tr.+ Phụ lục
Abstract:
Để thực hiện được mục tiêu nêu ở trên, để tài đã giải quyết được các vấn đề sau: Chế tạo màng ZnO có chất lượng cao bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron trên thiết bị Univex -450 của hãng Leybold; Làm chủ được thiết bị Univex - 450 của hãng Leybold; Chế tạo bia ZnO từ bột ZnO của hãng Merck bằng phương pháp gốm truyền thống trên các thiết bị của dự án OPEC; Chế tạo màng Pd bằng phương pháp bốc bay nhiệt trong chân không, độ dày của màng kim loại biến đổi từ vài chục đến hơn một trăm nanômet; Khảo sát tính chất của màng ZnO và màng Pd; Chế tạo tổ hợp của cấu trúc sensơ nhạy khí Pd/ZnO/p-Si và Pd/ZnO/Zn; Đánh giá độ nhạy của các senso đã chế tạo trong buồng đo với các nồng độ khí hyđro khác nhau
