Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS

Abstract

Trình bày một số khái niệm liên quan đến áp suất và các phương pháp được sử dụng để đo áp suất. Nêu các khái niệm liên quan đến cảm biến áp suất công nghệ MEMS, các quy trình sản xuất MEMS cũng như các cảm biến áp suất MEMS. Ứng dụng của cảm biến áp suất công nghệ MEMS trong đo lường và điều khiển nhằm phục vụ cho việc thiết kế các hệ đo, các kiến thức về phần cứng và lập trình cho vi điều khiển AVR