Nghiên cứu hình thái học vật liệu, linh kiện nanô bằng công nghệ ảnh nổi 3D trên kính hiển vi điện tử quét ( 3D Stereo Sem Imaging)

Abstract

Tổng quan về khái niệm, nguyên lý hình ảnh 3D, lịch sử phát triển của công nghệ 3D trong nước và trên thế giới. Nghiên cứu chụp và hiển thị ảnh 3D trên kính hiển vi điện tử quét (SEM ), nguyên lý tạo ảnh SEM, các ảnh hưởng qua lại giữa các thông số và các hiện tượng xảy ra trong quá trình ghi ảnh. Trình bày quy trình đầy đủ từ việc chụp, xử lý và hiển thị ảnh SEM bằng hiển vi . Mô tả quá trình tổng hợp các nanô tinh thể ZnO bằng phương pháp bốc bay nhiệt có sự tham gia của xúc tác Au, nghiên cứu hình thái các nanô tinh thể ZnO bằng ảnh 3D SEM