Thiết kế và chế tạo hệ thống Mini-robot với các Micro-container dựa trên công nghệ Vi Cơ Điện tử (MEMS)

Abstract

Bài báo trình bày công việc thiết kế và chế tạo hệ thống mini-robot (MRS) dùng để di chuyển micro-container thông qua cơ cấu thanh răng cóc và cơ cấu kích hoạt tĩnh điện kiểu răng lược (electrostatic comb actuator). Các mô đun của MRS có kích thước 6x6 mm2 được chế tạo bởi công nghệ Vi Cơ Điện tử (MEMS), có thể được lắp ghép để tạo thành một hệ vận tải hoàn chỉnh sử dụng cho nhiều mục đích khác nhau như hệ phân tích tổng hợp micro (m-TAS) để vận chuyển và phân loại các vật mẫu có kích thước micromét. Các tính toán về lực trong hệ thống được tiến hành để xác định điện áp kích hoạt cần thiết. Trong phần thực nghiệm, micro-container được kích hoạt thử nghiệm với dải tần số từ 1Hz đến 40Hz. Vận tốc đo được của micro-container hoàn toàn phù hợp với kết quả tính toán lý thuyết.